Subject: Abstract für Seminarvortrag Date: Thu, 18 Nov 1999 16:17:41 +0100 From: Christina Streli To: Walter.Kutschera@UNIVIE.AC.AT CC: INA.VOSTREL@AP.UNIVIE.AC.AT Lieber Herr Kutschera, liebe Frau Vostrel beiliegen das gewünschte Abstract des Seminarvortrags vom 9. Dezember : Synchrotronstrahlungsinduzierte Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse (SR-TXRF) Christina Streli Atominstitut der Österr. Universitäten, Stadionallee 2, 1020 Wien Synchrotronstrahlungsinduzierte TXRF (SR-TXRF) ist eine röntgenanalytische Technik im Ultraspurenbereich mit Nachweisgrenzen im Bereich von fg (10-15 g). Die Verwendung von Synchrotronstrahlung erlaubt auch die Erweiterung des erfaßbaren Elementbereichs auf die leichten Elemente, wie C, O, ... Al. Ein vielversprechendes Anwendungsgebiet ist die Oberflächenqualitätskontrolle von Si -Wafern. Diese können mit der Methode zerstörungsfrei und ortsaufgelöst mit der geforderten Nachweisempfindlichkeit untersucht werden. Weiters erlaubt die winkelaufgelöste TXRF auch Rückschlüsse darauf, ob die Verunreinigungen als dünne Schicht auf der Oberfläche vorliegen oder in die Oberfläche eingebaut sind. (Charakterisierung von dünnen Schichten und Implantationsprofilen). Ergebnisse der Messungen der Arbeitsgruppe des Atominstituts am HASYLAB, Hamburg und SSRL, Stanford werden präsentiert. Mit lieben Grüßen C.Streli Ao.Univ.Prof. Dr. Christina Streli Atominstitut of the Austrian Universities Stadionallee 2, A-1020 Wien Austria Tel: +43/1/58801-141-30 FAX: +43/1/58801-141-99 E-Mail: STRELI@ATI.AC.AT